Pour les matériaux utilisés pour la microélectronique ou pour les dispositifs électroniques élémentaires (diodes, capacités MIS…), l’enseignement décriera :

• Les principales techniques de caractérisation morphologique (microscopie optique et électronique, microscopie en champ proche…) ;
• Les principales techniques de caractérisation physico-chimique (analyse par faisceau d’ions, d’électrons ou de photons…) ;
• Les principales techniques de caractérisation structurale (diffraction des rayons X et des électrons…).

Les principales techniques de caractérisation électrique (résistivité, effet Hall, niveaux profonds…).

L'objectif est de réaliser un état de l’art des techniques de caractérisation utilisées en microélectronique et physique des matériaux.

• L’étudiant devra, à la fin du cours, être capable de déterminer quelle technique employer pour répondre à une question technique rencontrée lors d’un travail de recherche en caractérisation des matériaux pour l’électronique.